圓晶-應(yīng)用案例
某12英寸晶圓廠在28nm工藝量產(chǎn)中遭遇批次性良率波動(dòng)。通過引入海瑞思全面檢測方案,在刻蝕設(shè)備氣體輸送管路發(fā)現(xiàn)納米級泄漏。問題解決后,產(chǎn)品良率穩(wěn)定在99.2%以上,每年避免損失超2000萬元,并成功通過國際頂尖客戶的認(rèn)證審核。
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