在精密制造與高端裝備領(lǐng)域，密封性能是保障產(chǎn)品可靠性與安全性的關(guān)鍵。以半導(dǎo)體真空設(shè)備為例，真空度的任何波動(dòng)和雜質(zhì)污染都會(huì)直接影響工藝穩(wěn)定性，導(dǎo)致制程良率下降。而航天、電力、液冷等大型設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，任何微小的泄漏，不僅會(huì)增加系統(tǒng)運(yùn)行成本，更可能帶來安全隱患、損害品牌聲譽(yù)。

基于質(zhì)譜技術(shù)的氦質(zhì)譜檢漏儀與殘余氣體分析儀（RGA），憑借其高靈敏度、高精度和多功能性，已成為精密檢漏與工藝監(jiān)測的核心方案。

本文將結(jié)合海瑞思的氦質(zhì)譜系列和四極桿質(zhì)譜系列產(chǎn)品，系統(tǒng)解析兩種技術(shù)的原理、差異及應(yīng)用，為工業(yè)檢測提供參考。

1技術(shù)核心：同源質(zhì)譜，不同使命

氣體電離 → 按質(zhì)荷比（m/z）分離 → 離子檢測 → 信號(hào)分析 

但兩者的設(shè)計(jì)目標(biāo)不同，因此形成不同的應(yīng)用價(jià)值。

氦質(zhì)譜原理

離子源將氣體中的物質(zhì)電離為正離子，在離子源加速電壓的推動(dòng)下進(jìn)入磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)量分析器。在固定的磁場強(qiáng)度下不同質(zhì)量的氣體離子對(duì)應(yīng)的偏轉(zhuǎn)半徑不一樣，氦離子質(zhì)量合適可以通過磁場中間的擋板夾縫打入法拉第杯而被檢測到，其他較輕或較重的離子則無法通過夾縫被檢測。

四極桿質(zhì)譜原理

離子源將氣體中的物質(zhì)電離為正離子，在離子源加速電壓的推動(dòng)下進(jìn)入四極桿質(zhì)量分析器。 

四極桿中兩對(duì)桿分別施加不同的交流和直流電壓形成四極場，通過控制電壓使得某一時(shí)刻只允許一種質(zhì)量數(shù)的離子經(jīng)過四極桿，最終進(jìn)入檢測器被檢測。 

檢測到的信號(hào)強(qiáng)度，就對(duì)應(yīng)這種離子的多少，進(jìn)而推算出含有這種離子的物質(zhì)的多少。

2 一張表讀懂氦質(zhì)譜與RGA技術(shù)區(qū)別

3 實(shí)戰(zhàn)應(yīng)用：賦能多行業(yè)精準(zhǔn)檢測

海瑞思氦質(zhì)譜系列和RGA系列，是微漏檢測及氣體分析的代表性解決方案，可實(shí)現(xiàn)從診斷、定位、驗(yàn)證到監(jiān)控的全流程閉環(huán)，可精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體、航空航天、電力系統(tǒng)、液冷等領(lǐng)域應(yīng)用。

應(yīng)用一 

精密檢漏：保障產(chǎn)品安全與性能的基石

在半導(dǎo)體、液冷、核電、航空航天、汽車、醫(yī)療等高端精密制造領(lǐng)域，壓鑄件、腔體、閥門及管路等部件的微小泄漏都可能影響設(shè)備性能與運(yùn)行安全。 

HM-400/410氦質(zhì)譜檢漏儀，由海瑞思自主研發(fā)，技術(shù)先進(jìn)，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，可實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高重復(fù)性的密封性檢測與漏點(diǎn)定位。

? HM-400氦質(zhì)譜檢漏儀

核心優(yōu)勢

性能優(yōu)越：靈敏度高、響應(yīng)快，支持7*24小時(shí)長時(shí)間在線測試，具備多種檢漏模式，應(yīng)用范圍廣，適配復(fù)雜工況。 

智能高效：優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)。 

方案全面：提供從方案設(shè)計(jì)、設(shè)備集成到現(xiàn)場調(diào)試的一站式服務(wù)，支持非標(biāo)定制，簡便易用。 

提質(zhì)增效：可顯著提升檢測精度與穩(wěn)定性，幫助企業(yè)降低質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)與綜合成本。

?壓鑄機(jī)氦檢方案（真空箱法）

?液冷組件氦檢系統(tǒng)

應(yīng)用二 

殘余氣體分析：工藝優(yōu)化與失效診斷的關(guān)鍵

在半導(dǎo)體真空鍍膜、晶圓制造等工藝中，殘余氣體會(huì)直接影響薄膜的厚度、均勻性和缺陷率。 

通過海瑞思完全自研的HM-100 / HM-130 / HM-150 殘余氣體分析儀，可實(shí)時(shí)監(jiān)測腔體內(nèi)的 H?O、H?、N?、O?、Ar 等關(guān)鍵氣體成分及其分壓變化，為工藝優(yōu)化和異常診斷提供數(shù)據(jù)支撐。

?HM-100殘余氣體分析儀

核心優(yōu)勢

極致靈敏：最小可檢分壓達(dá)3*10-14Torr，有效確保真空系統(tǒng)的潔凈度。

自主可控：核心部件100%自研，性能媲美進(jìn)口，交貨周期更短。

高效維護(hù)：離子源、電子倍增器等關(guān)鍵耗材更換便捷，有效降低停機(jī)與維護(hù)成本。 

定制開發(fā)：軟件功能可按需定制，無縫對(duì)接MES等生產(chǎn)系統(tǒng)，幫助客戶提升產(chǎn)品良率與一致性。

結(jié)語

從精準(zhǔn)檢漏到系統(tǒng)健康管理

在工業(yè)制造向高端化、精密化升級(jí)的趨勢下，單純的定性檢漏已無法滿足需求，“定量檢漏+系統(tǒng)診斷”的雙重能力，為企業(yè)提供從“被動(dòng)檢漏”到“主動(dòng)管控”的升級(jí)路徑。 

未來，隨著智能制造的深入發(fā)展，氦質(zhì)譜與RGA系統(tǒng)將成為高端制造領(lǐng)域密封檢測和氣體分析的標(biāo)配，而海瑞思也將持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新，為各行業(yè)提供更精準(zhǔn)、高效的檢測解決方案。