您還在為半導體晶圓制造

良率瓶頸焦慮不已？

良率波動不止？根源可能在“氣”！

昂貴工藝氣體泄漏難防？

腐蝕氣體濃度失控困擾？

微漏難尋，良率成本雙失？

海瑞思RGA密封檢測方案

直擊痛點——

? 實時捕捉波動，保障濃度穩(wěn)定

? 精準快速響應(yīng)，穩(wěn)定蝕刻工藝

? 變被動為主動預(yù)警，守護良率與成本

告別泄漏隱患，穩(wěn)控工藝命脈！

歡迎蒞臨SEMI-e深圳半導體展

14號館K11展位

解鎖您的專屬密封解決方案！

現(xiàn)場更有專業(yè)工程師為您答疑解惑，

期待與您相約！

以下是觀展攻略，請速速收藏！

01

觀展時間

交通指引

02

地鐵：地鐵12號線、20號線直達國展北站（C1、C2出口到達北登錄大廳），可快速往返深圳市區(qū)及機場。

公交：深圳國際會展中心1站: 615路、B892路環(huán)線；深圳國際會展中心2站: M515路、B892路環(huán)線

自駕：A線路由國展立交-鳳塘大道-展城路-P1；B線路由國展立交-鳳塘大道-濱江大道-P5

03

展位路線圖

04展期天氣

溫馨提示：

1. 展會期間可能會有小雨，注意攜帶雨具。

2. 雨天濕度較大，注意保暖，避免受涼。

05

明星產(chǎn)品

HM-100 殘余氣體分析儀↑

高分辨率：<1amu

高靈敏度：最小可檢分壓3*10^-14 Torr

寬質(zhì)量數(shù)范圍：1-100amu,可識別H₂、He、H₂O、N₂、O₂、CO₂等關(guān)鍵氣體

HM-200在線質(zhì)譜分析儀↑

采用 RGA 技術(shù)直接檢測電解液泄漏，無需檢測氣體,靈敏度高,成本更低; 自帶觸摸顯示屏，操控精準。

HM-400氦質(zhì)譜檢漏儀↑

最小可檢漏率 5*10^-13Pa·m³/s; 正壓負壓皆可檢，全面覆蓋需求; 推車式結(jié)構(gòu)輕便高效，適用各類生產(chǎn)環(huán)境; 模塊化緊湊設(shè)計，易于系統(tǒng)集成，適用于各種自動化裝配線。

HV-100 VOCs檢測儀↑

檢測精度1ppb，秒級響應(yīng)；支持多種測試氣體和應(yīng)用場景；小巧便捷，輕松操作；自動儲存，支持數(shù)據(jù)溯源。

您的困惑，我們都懂

歡迎蒞臨海瑞思展位